一、真空及真空度的概念
在真空技术中，把低于一个大气压的气体状态，统称为真空。与正常的大气相比，这是一种较稀薄的气体状态。
真空中残存气体的稀薄程度就是真空程度的高低，即真空度。
二、真空度的单位
依据真空度的定义，衡量真空度高低最直接的物理量应是每单位体积中的分子数，但由于历史和技术上的原因，真空度的高低是用被抽空容器中残存气体的绝对压强来表示的。“压强”，是指单位面积容器壁上所承受的压力，它是目前国际上通用的表示真空度的物理量。1958年第一届国际技术会议曾建议采用“托”（Torr）作为测量真空度的单位，定义为“1Torr是1个大气压的1/760”，因1个大气压为760mmHg，故Torr可以与mmHg通用。国际单位制（SI）中规定压强的单位为帕（Pa），帕（Pa）是牛顿/米2（N/m2）的专门名称。目前，包括我国在内的许多国家已逐步用Pa取代Torr作为真空压强的标准基本单位。
真空度越高，则气体的压力越低，炉内气体分子数目也越少；反之，气体压力越高，意味着真空度越低。可见，压强的大小与真空度的高低成反比。
在各种文献中，压强的单位除了Pa和Torr外，还有标准大气压、bar、kgf/cm2。几种常见单位之间的换算关系如下。
1 Torr = 133.3 Pa
1 Pa = 7.5×10-3 Torr
1 Torr = 1 mmHg 柱
1 Torr = 1/760 大气压
三、真空区域的划分
真空区域的划分方法很多，目前，我国将真空区域划分为：低真空、中真空、高真空和超高真空。各真空区域所对应的真空值分别为：
低 真 空：105 ～102 Pa (760～1 Torr)
中 真 空：102 ～10-1 Pa (1～10-3 Torr)
高 真 空：10-1～10-5 Pa (10-3～10-7 Torr)
超高真空： ≤10-5 Pa (≤10-7 Torr)
在不同的真空区域内分子运动的物理现象是不同的。离子渗氮是在中低真空中进行的，其压力范围通常为7～1000 Pa。
四、常用真空计简介
测量低于大气压的气体压强的工具称为真空计。真空计可以直接测量气体的压强，也可以通过与压强有关的物理量来间接测量压强。前者称为绝对真空计，后者称为相对真空计。
真空计的种类繁多，下面简要介绍一下目前国内离子氮化设备中常用的几种真空计。
1、压缩式真空计
压缩式真空计又称麦克劳真空计，简称为麦式真空计。麦式真空计属绝对真空计的范畴。其优点在于测量准确性高，可作为真空计量的标准器，其缺点是使用不够方便、反应缓慢、不能连续测量。
2、电阻式真空计
电阻式真空计系利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制作而成的。电阻式真空计属相对真空计的范畴。
电阻式真空计的优点在于结构简单、能连续测量、可以测量总压强、使用方便（可用导线进行远距离测量）。缺点在于该类型真空计的测量值与被测量气体种类和气体的组份有关，这是因为该类真空计出厂时大多是用空气标定的，由于离子渗氮炉中氢的存在，氢的热导率与氮、空气等的热导率相比相差太大，故所测真空度值误差较大。但由于该类真空计使用方便、读数直观，价格相对低廉，用于测量炉体的极限真空度和压升率准确可靠，因而仍然是我国众多企业广泛使用的产品。
3、绝对压力变送器——绝对真空计
这是一种利用气体压力直接作用产生的变形，度量真空的绝对真空计。根据具体结构的不同，又可分为多种形式。其中，电容薄膜式绝对压力变送器是使用最广泛的产品之一。它是利用电容量变化原理工作的，其最显著优点是检测不受被测介质种类和成份的影响，能长期连续使用，读数真实可靠。但其价格相对较高。 |
